ProXは、自社製の元素分析装置(EDS)を内蔵し、元素分析ソフトウェア（点分析）が標準で付いています。点分析に加えて、オプションのEDSマッピングソフトウェアでラインスキャンやマッピングが可能になります。

元素分析ソフトウェア（点分析）

SEM像内で指定した点の
元素情報が得られます

• 指定した点の元素情報を迅速にスペクトルで表示
• 含まれる元素の含有率を測定
• 複数の点の同時測定が可能

EDSマッピングソフトウェア

ラインスキャン、マッピング、
エリアマッピングの
３つの機能があります

• ラインスキャン - 指定したラインに沿って元素分析
• マッピング - SEM像で観察しているエリアをマッピング
• エリアマッピング - SEM像上で任意のエリアを選択してマッピング

オプションの画像解析ソフトウェアで、得られたSEM像を解析することができます。画像解析ソフトウェアには下の４つがあります。

パーティクルメトリックソフトウェア

粒子のサイズ・形状の解析

• サブミクロン粒子のサイズ･形状の分布を測定
• ヒストグラムやスキャッタプロットで表示
• 解析した粒子の個々のSEM像を表示

ファイバーメトリックソフトウェア

繊維径・隙間面積の解析

• 繊維径や繊維間の隙間面積を自動で測定
• ヒストグラムで分布を表示
• 簡単に短時間でファイバーの解析が可能

ポロメトリックソフトウェア

細孔のサイズ・形状の解析

• 試料表面の細孔を自動で検出
• サイズや形状を測定し、ヒストグラムで表示
• 中央値や平均値を自動で算出

3Dラフネスソフトウェア

3D画像の構築、簡易表面粗さの測定

• 試料表面の形状を３次元で表示
• 高さの違いを色分けして表示
• 簡易表面粗さを自動で計算

特定のアプリケーションに特化したソフトウエアです。

アスベストメトリックソフトウェア

アスベスト繊維の自動検出
フィルター上に捕集した大気中アスベストを自動でスピーディに解析します。画像取得から繊維の検出までを全自動で行い、労力を削減します。

• ISO 14966規格に準拠
• アスベスト繊維を高精度で
  迅速に検出
• EDS分析によるアスベストの
  同定が可能
• 9個のフィルターを一度に解析