アメリカ サーモフィッシャーサイエンティフィック社製の卓上走査型電子顕微鏡は、高画質のSEM画像観察と高度な画像解析が可能です。初めてSEMをお使いになる方でも解りやすく簡単に操作できます。光学顕微鏡で撮影した試料全体の画像を見ながら、SEMでの観察位置を確認することができます。
- シンプルな操作でスピーディに観察
- 得られたSEM像を多彩なソフトで解析
ProX
元素分析機能を標準搭載した高分解能モデル
- 倍率: 80 〜 150,000倍
- 光学顕微鏡付き
(カラー、20 〜 135倍) - 元素分析: 標準搭載
- CeB6電子銃による高画質観察
- 二次電子: オプション
Pro
多彩な拡張性を備えた高分解能モデル
- 倍率: 80 〜 150,000倍
- 光学顕微鏡付き (カラー、20 〜 135倍)
- 元素分析: オプション
- CeB6電子銃による高画質観察
- 二次電子: オプション
Pure
電子顕微鏡の導入に最適なエントリーモデル
- 倍率: 70 〜 30,000倍
- 光学顕微鏡付き (白黒、20倍)
- 上位機種と同じCeB6電子銃
XL
大きな試料室を採用したモデル
- 倍率: 80 〜 100,000倍
- 光学顕微鏡付き (カラー、3 〜 16倍)
- 最大100×100 mmまでの試料をセット可能
- SEMで観察できる範囲: 50×50 mm
(オプションで100×100 mmに拡張可能) - 元素分析: オプション
- CeB6電子銃
- 二次電子: オプション
Phenom Pharos
FE電子銃で超高画質を実現
- 最高倍率: 100万倍
- 光学顕微鏡による視野確認
- 元素分析: オプション
- FE電子銃
- 二次電子: オプション
専用システム
特定のアプリケーションに特化した専用システムです。
材料の自動評価システム、清浄度の自動検査システム、射撃残渣(GSR)の自動分析システムがあります。
高輝度、超寿命のCeB6電子銃を採用したPhenomだからこそ、長期に渡り安定した測定が可能です。
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Phenom ParticleX AM
粒子材料の自動評価システム
粒子材料の特性を自動でスピーディに評価します。
粒子の均一性や異形・異物粒子の確認など、
アディティブ・マニュファクチャリングの品質管理に使用可能です。
- SEM/EDSによる自動解析
- 粒子の検出からサイズ・形状解析、
元素分析までを完全自動化 - 粒子をサイズ・形状パラメータ、
化学組成に基づいて分類 - ユーザーが指定した
フォーマットでレポート作成
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Phenom ParticleX TC
清浄度の自動検査システム
製造部品に付着したマイクロスケールの異物を自動で解析します。
清浄度の管理や異物源の特定を短時間で迅速に行うことが可能です。
- SEM/EDSによる自動解析
- 異物の検出からサイズ・形状解析、
元素分析までを完全自動化 - 異物をサイズ・形状パラメータ、
化学組成に基づいて分類 - ISO 16232 / VDA 19に準拠した
レポート作成
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Phenom GSR
射撃残渣(GSR)の自動分析システム
卓上SEMによる世界初の自動GSR分析システムです。
ASTM1588-17に準拠した高精度な分析が可能です。
- GSR粒子の自動検出、
分類、レポート作成が可能 - ウィザードによる直観操作
- 大きな試料室を搭載し、
様々な法医学アプリケーションが可能
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