Phenom Pharos

アメリカ：サーモフィッシャーサイエンティフィック社

FE電子銃搭載、卓上SEM最高峰モデル

もっと見たい。 画質へのこだわりから誕生した世界初卓上FE-SEM。 
限られた環境で、スピードと高分解能が 必要とされるアプリケーションに。

特徴

FE電子銃で、ナノの世界へ

FE電子銃でさらに美しく

30秒で、分解能 < 2 nm

フロアモデルに迫る高分解能を、卓上SEMで実現しました。

試料導入からSEM像表示まで、僅か30秒。高画質観察を圧倒的スピード、簡単操作で実現します。

ナノ～サブミクロンレベルの解析を実現

観察だけでなく、”観察＋α” で一歩先の解析まで行うことが可能です。
微細粒子や繊維の解析が迅速に行えます。

パーティクルメトリックによる金粒子の解析例

ファイバーメトリックによる銀ナノロッドの解析例

世界初卓上FE-SEMによる走査透過電子顕微鏡観察（STEMホルダ）

電界放出型電子銃（FEG）を搭載した Phenom Pharos卓上FE-SEM専用の
STEMホルダで、世界初の卓上による走査透過電子顕微鏡観察を可能にしま
す。  
低電圧で高コントラストを実現し、微細構造や形態の高分解能観察が可能で
す。様々な材料に対応し、広範囲を低倍率から高倍率に変えて観察を行うこと
ができるため、サンプルのスクリーニングや結果の取得を迅速に行うことが可
能です。

カーボンナノチューブのSTEM像（上）とSED像（下）。
STEMの透過像では、カーボンナノチューブの核生成サイトが確認できます。

タバコモザイクウイルスを4種類のイメージングモードで観察した例。BF像ではウイルスが明確に確認でき、DF像ではリポイドが明確に観察できます。

革新的なユーザーインターフェースで、もっと速く、もっとスマートに
ユーザーインターフェースが新しく生まれ変わりました。
試料導入から僅か30秒でSEM像を表示、そのままバリアフリーで分析へ。

ナビゲーションシステムで「迷わない」

観察位置を常に確認でき、迷いません。

自動ステージで「瞬時に移動」

画面をワンクリックするだけで次の観察位置へ移動できます。

リビジット機能で「すぐ戻れる」

気になる場所を登録、戻って再観察、再分析が可能です。

測定の流れ

完全融合 SEM×EDS
シームレスにリアルタイム分析

ChemiSEM ‐ Liveで「定量EDS & 高速マッピング」

ワンクリックでライブ定量EDSマッピング、3秒で元素の分布を表示します。
気になる箇所の組成と定量値を確認することができ、異物や関心領域の特定に役立ちます。

点分析、ライン分析、マッピング

自動で定性・定量分析

スペクトルから自動でピークを検出し、定性分析、定量分析を行うことができます。ピークが重なる元素も自動で分離します。

直感操作でレポート作成まで

分析の経験に関係なく、解析からレポート作成までを簡単に行うことができます。

加速電圧20 kVに対応

15 kVに加え、より高加速電圧が必要な分析にも対応します。スペクトルは、鉛(Pb)を15 kVと20 kVで分析した例です。

結果の酸化物換算表示

検出された元素を酸化物に換算して表示することができます。

スペクトルの重ね合わせ・差スペクトルの表示

複数のスペクトルを重ね合わせて表示し、比較することができます。また、差スペクトルを表示することができます。

ChemiPhase 多変量解析による『相分析』

多変量解析により相(主成分)を自動抽出し、相マップ(主成分マップ)を表示します。複数の成分で構成される材料も、自動で相分離することができます。

SEM像や元素マッピングでは判断できない成分(化合物)を識別
分析領域全体の積算スペクトルではピークの確認が困難な微量成分を識別可能

観察+α、解析ソフトウェア

数値で評価したい！を叶えます。サブミクロンレベルの粒子や繊維の解析が可能です。

解析ソフトウェアの詳細ページ

粒子解析
細孔解析
繊維径
3D画像の構築、粗さ計測
自動画像マッピング

仕様

		Phenom Pharos
電子銃		ショットキー型FE電子銃
分解能	反射電子	3 nm（加速電圧：20 kV）
	二次電子（オプション）	2 nm（加速電圧：20 kV）、10 nm（加速電圧：3 kV）
光学ナビゲーション倍率		27 ～ 160 倍（カラー）
電子顕微鏡倍率		最大 2,000,000 倍
デジタルズーム		12 倍
加速電圧		5 kV、10 kV、15 kV（アドバンスモード：1 kV ～ 20 kV）
反射電子検出器		標準
二次電子検出器		オプション
EDS元素分析		オプション
画像保存形式		JPEG、 TIFF、 PNG
自動ステージ		コンピュータ制御モーター駆動 XY ステージ
試料サイズ		直径： 25 mm （オプション： 32 mm）、高さ： 35 mm （オプション： 100 mm）
寸法、重量	顕微鏡本体	360（W） × 580（D） × 590（H）mm、 75 kg
	真空ポンプ	145（W） × 220（D） × 213（H）mm、 4.5 kg
	電源ボックス	230（W） × 255（D） × 75（H）mm、 4.3 kg、（UPS使用　寸法：530（W） × 210（D） × 500（H）mm、 25.2 kg）
	PC	92.5（W） × 305.6（D） × 343.5（H）mm、 8 kg
	モニタ	531.5（W） × 250（D） × 515.4（H）mm、 6.7 kg
電源		単相 AC 100 V、 50 / 60 Hz、最大 378 W
解析ソフトウェア	標準	自動画像マッピング
	オプション	パーティクルメトリックソフトウェア（粒子解析、細孔解析）、ファイバーメトリックソフトウェア（繊維解析）、 3Dラフネスソフトウェア（3D画像の構築、粗さ計測）